1923'te Artvin'de doğdu. İzmir Atatürk Lisesi'ni (1941), İTÜ Mimarlık Fakültesi'ni (1947) bitirdi. Aynı yıl Bayındırlık Bakanlığı Şehircilik Fen Heyetinde yüksek mühendis mimar olarak göreve başladı. 1955 yılında Fen Heyeti Müdürü oldu. Fransız hükümetinin sağladığı bursla altı ay Fransa'da çeşitli araştırmalarda bulundu (1956). Aynı yılın sonlarında Birleşmiş Milletler bursu ile ABD Pennsylvania Üniversitesinde kent planlaması yüksek lisans öğrenimini tamamladı. Dönüşte İmar ve İskan Bakanlığında görev aldı (1959-61). 1961'de ODTÜ'ye geçti. Şehir ve Bölge Planlama Bölüm Başkanlığı ve bir dönem Mimarlık Fakültesi Dekanlığı yaptı. 1968 yılında doçent olan Rauf Beyru, ertesi yıl mimarlık ve şehircilik bölümlerini oluşturmak üzere Ege Üniversitesine geçti. 1973'de profesör oldu. 1975-1981 yılları arasında yeni kurulan Güzel sanatlar Fakültesi Dekanlığını yürüttü. Ardından emekliliğini isteyerek Kral Suud Üniversitesinde (Riyad) ders vermeye başladı (1981-87) Mimarlık ve Şehircilik proje yarışmalarında çok sayıda ödülleri olan Beyru'nun yine çok sayıda jüri üyelikleri, kitap, makale ve bildirileri vardır. Halen İzmir kentine ilişkin araştırmalarını sürdürmektedir.